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and SiF
ions (5-200eV) on Cu(100) surface山本 博之; 馬場 祐治; 佐々木 貞吉
Applied Surface Science, 100-101, p.333 - 337, 1996/00
被引用回数：9 パーセンタイル：49.93(Chemistry, Physical)3eV~の極低エネルギーイオン照射を可能とした装置を試作し、散乱イオン測定への応用を試みた。SiF、N
等の分子イオンを、質量分離の後、3~100eVでCu(III)に対して照射した。これらの散乱イオンについて、45
Cのセクタ型エネルギー分析器を備えた四重極質量分析計を用いて、散乱イオン強度、質量およびエネルギーを測定した。この結果、SiFを照射した場合では、照射エネルギーの増加に伴って散乱SiFの強度が減衰し、50eVでほぼ消滅する。一方、表面で解離したSiFが35eVで現われ、エネルギーの増加とともに強度が増大する。以上の結果から、照射に伴うSi-Fの解離のしきいエネルギーが35eVであることが明らかとなった。
廣木 成治; 阿部 哲也; 村上 義夫
Vacuum, 47(6-8), p.767 - 769, 1996/00
被引用回数：7 パーセンタイル：39.56(Materials Science, Multidisciplinary)核融合装置においてプラズマパラメータを改善して行くためには、プラズマに混入する不純物量をできるだけ少なくする必要があり、不純物混入の原因となる真空漏れはできるだけ防がなければならない。この真空漏れ探知には通常、ヘリウムリークディテクターが使われるが、通常のヘリウムリークディテクターはヘリウム(4.0026
)と重水素(4.0282)を質量分離できず、重水素放電を行う核融合装置には使えない。そこで我々は、重水素ピークに対し10
のヘリウムピークを検出できる高分解能四極子質量分析計を開発し、これを組み込んだヘリウムリークディテクターを試作して種々の条件で評価試験を行った。
荻原 徳男; 三代 康彦; 上田 泰照*
Vacuum, 47(6-8), p.575 - 578, 1996/00
被引用回数：7 パーセンタイル：39.56(Materials Science, Multidisciplinary)我々はSpindt型の電界放出電子源(FEA)を用いた四重極質量分析計を開発し、超高・極高真空の測定を行ってきた。従来の熱フィラメント使用時に比べて、イオン源周辺部からのガス放出量を10%以下に低減することができた。しかしながら、気相中の気体からのイオンと真空容器表面から電子衝撃脱離(ESD)によって生ずるイオンとが区別できないことにより真の分圧組成を知ることが困難であるという問題が残されていた。これに対して、ESDイオンが約5eV以上の初期エネルギーを有する一方、気相を起源とするイオンの初期エネルギーは無視しうる程小さいことを用いて、FEAから引き出す電子ビームをパルス化する飛行時間法を応用し、これらのイオンを時間的に分離し独立に測定することを可能とした。これにより気相を起源とするイオンのみの測定が可能となり、真の分圧組成を知ることができる。
